【科普】CBN的異質(zhì)外延
關(guān)鍵詞 每日科普|2025-09-11 11:47:05|來(lái)源 磨料磨具
摘要 采用晶格常數(shù)和表面能都與CBN非常接近的金剛石作為襯底,可以實(shí)現(xiàn)CBN的異質(zhì)外延。這些外延單晶CBN薄膜制備的成功使得有效地應(yīng)用CBN薄膜制備半導(dǎo)體器件成為可能。此外,也可利用其他...
采用晶格常數(shù)和表面能都與CBN非常接近的金剛石作為襯底,可以實(shí)現(xiàn)CBN的異質(zhì)外延。這些外延單晶CBN薄膜制備的成功使得有效地應(yīng)用CBN薄膜制備半導(dǎo)體器件成為可能。此外,也可利用其他材料作為襯底來(lái)進(jìn)行CBN膜的異質(zhì)外延。比如硅襯底預(yù)處理后可以實(shí)現(xiàn)TBN在襯底上的直接生長(zhǎng),可有效降低過(guò)渡層的厚度。
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