摘要 近三年,國產(chǎn)太陽能硅單晶生長設(shè)備的銷售量直線上升,從2004年的8000萬元到2006年3.5億元。目前,我國市場上有各類硅單晶生長設(shè)備1500余臺,分布在70余家生產(chǎn)企業(yè)。主要產(chǎn)...
近三年,國產(chǎn)太陽能硅單晶生長設(shè)備的銷售量直線上升,從2004年的8000萬元到2006年3.5億元。目前,我國市場上有各類硅單晶生長設(shè)備 1500余臺,分布在70余家生產(chǎn)企業(yè)。主要產(chǎn)品規(guī)格有DRXF-85型、TDR-80型、JRDL-800型、CZ-600型、CG6000型、FT- CZ1860型等;90%以上的設(shè)備用于太陽能硅單晶的生產(chǎn),其中有1400余臺能夠使用16英寸熱系統(tǒng)投料45千克生長6英寸太陽能硅單晶,1000余臺能夠使用18英寸熱系統(tǒng)投料60千克生長8英寸硅單晶的能力,只有200多臺可以使用20英寸熱系統(tǒng)投料80千克—90千克比較經(jīng)濟(jì)地生長8英寸的太陽能硅單晶。國產(chǎn)設(shè)備大部分是以半自動為主,只能實(shí)現(xiàn)等徑生長、收尾等過程的自動控制,仍沒有實(shí)現(xiàn)真空獲得、加熱熔化、引晶放肩、等徑生長、收尾等全過程自動控制。不過,經(jīng)過多年的研究與經(jīng)驗(yàn)積累,國產(chǎn)設(shè)備的等徑生長控制技術(shù)比較成熟,基本能控制在±1mm左右;隨著太陽能硅單晶生長設(shè)備市場需求的不斷擴(kuò)大,有多家單位也涉足了太陽能硅單晶生長設(shè)備制造的行列,生產(chǎn)規(guī)模在逐漸形成,目前,國內(nèi)已有十余個硅單晶生長設(shè)備生產(chǎn)廠家,但主要的有六七家,2006年,生產(chǎn)銷售6英寸到8英寸太陽能硅單晶生長設(shè)備已超過500臺。
國內(nèi)太陽能硅單晶生長設(shè)備生產(chǎn)單位具有較強(qiáng)的市場意識,機(jī)制靈活,反應(yīng)快,有成熟的硅單晶生長工藝技術(shù)等優(yōu)勢。這就使得硅單晶生長設(shè)備的推廣應(yīng)用更加容易。憑借我國太陽能硅單晶生長設(shè)備研制生產(chǎn)單位的開發(fā)制造技術(shù)水平的提高以及和成熟的太陽能生長技術(shù),常州華盛天龍機(jī)械有限公司、北京京儀世紀(jì)科技有限公司等單位研制的硅單晶生長設(shè)備已實(shí)現(xiàn)批量出口,并得到了外商的好評。