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國產(chǎn)18寸半導(dǎo)體級單晶硅棒研制成功

關(guān)鍵詞 單晶硅 , 半導(dǎo)體|2020-07-02 09:05:09|來源 中關(guān)村在線
摘要 近日,在SemiconChina2020上,新美光(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司發(fā)布了450mm(18寸)11個9純度的半導(dǎo)體級單晶硅棒。據(jù)新美光CEO夏秋良介紹,450mm半導(dǎo)體單晶...

近日,在Semicon China2020上,新美光(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司發(fā)布了450mm(18寸)11個9純度的半導(dǎo)體級單晶硅棒。據(jù)新美光CEO夏秋良介紹,450mm半導(dǎo)體單晶硅棒采用國際最先進MCZ技術(shù),代表國際先進水平,改變國內(nèi)無自主450mm半導(dǎo)體級單晶硅棒的局面。將在28nm以下晶圓廠實現(xiàn)國產(chǎn)替代。

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2019年12月,新美光完成了數(shù)千萬元pre-A輪融資,由陜投成長基金領(lǐng)投,2020年6月份,又迅速的完成了新的一輪融資,由安豐創(chuàng)投領(lǐng)投。目前在建2萬平米廠房,預(yù)計2021年4月封頂,2021年年底產(chǎn)線投產(chǎn)。

擴展閱讀:晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,制作晶圓需要將單晶硅棒進行切段,滾磨,切片,倒角,拋光,激光刻,包裝而成。

而單晶硅棒的制造則需要純度為99.9999%的電子級別硅在1400 ℃高溫中溶解,然后在溶液中種入籽晶。隨后慢慢拉出形成圓柱形單晶硅棒。

電子級別硅的提純則需要把砂石放在2000℃的高溫中與碳源發(fā)生反應(yīng)。生成純度為98%的硅(冶金級硅),隨后把粉碎的冶金級硅與氣態(tài)的氯化氫進行氯化反應(yīng),生成液態(tài)的硅烷。通過蒸餾和化學(xué)還原工藝,得到了純度為99.99999%的多晶硅。

此次新美光(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司自主生產(chǎn)的450mm的半導(dǎo)體級單晶硅棒,在當下有十分重要的戰(zhàn)略意義。

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